
PSA -happigeneraattori puolijohde
Kuvaus
Tekniset parametrit
Miksi puolijohdeteollisuus tarvitsee PSA -happigeneraattoreita?
Suurten kaasujen tarjonta:Puolijohdevalmistuksella on tiukat vaatimukset kaasun puhtauteen, ja korkeapuhtaushappi on välttämätöntä litografialle, puhdistukselle ja muille yhteyksille. Painekylätä adsorptiotekniikan avulla PSA -happigeneraattori tuottaa happea puhtaasti 95%± 3%, mikä täyttää oksidikerroksen muodostumisen ja kiekkojen puhdistuksen vaatimukset ja välttää perinteisen kaasusylinterin hapen tarjonnan epäpuhtauksien saastumisen riskin.
Varmista prosessin vakaus:Puolijohteiden tuotantolinjat vaativat jatkuvan ja vakaan kaasun tarjonnan. PSA -happigeneraattori käyttää kaksinkertaista adsorptiotorneja vuorotellen, ja PLC: n älykkään hallinnan avulla se voi saavuttaa 24- tunnin keskeytymättömän hapen tarjonnan, välttää manuaalisen pullonvaihdon aiheuttamat tuotannon keskeytykset ja sopeutua prosesseihin, jotka ovat herkkiä ilmapaineelle, kuten ohutkalvojen laskeutumisesta ja etsauksesta.
Vähennä kustannuksia ja optimoi tilaa:Verrattuna nestemäisiin happea varastosäiliöihin ja korkeapaineisiin kaasusylintereihin, PSA-happigeneraattorit tuottavat happea paikan päällä, vähentäen huomattavasti kuljetus- ja varastointikustannuksia. Siinä on pieni jalanjälki ja tukee modulaarista laajentumista, joka vastaa avaruuden käytön maksimoimista puolijohteiden tehtaiden puhtaissa työpajoissa. Pitkän aikavälin käyttökustannukset ovat noin 20% alhaisemmat kuin perinteinen menetelmä.
Sopeutua erityisiin prosesseihin:Edistyneissä prosesseissa jotkut erityiset prosessit vaativat happipitoisuuden tarkan hallinnan. PSA -happigeneraattori voi joustavasti säätää hapen ulostulon puhtautta (95%-99. 9%) säätämällä adsorptiopainetta ja molekyyliseula -suhdetta täyttämään 3D -NAND -flash -muistin valmistuksen erityiset prosessivaatimukset.
Ympäristöystävällinen ja helppo ylläpitää:PSA -tekniikka ei vaadi kemiallisia reagensseja, ja hapentuotantoprosessi ei pääse haitallisia aineita, jotka täyttävät puolijohdeteollisuuden ympäristönsuojelustandardit. Laitteet käyttävät elintarvikelaatuista ruostumattomasta teräksestä valmistettuja ja itsepuhdistuvia molekyyliseuloja, joiden ylläpitojakso on jopa 3-5 vuotta, ja sopii kiekkojen korkean puhkeamisen kiekkojen valmistusympäristöihin.

| luokka | Parametritiedot |
| Hapen puhtaus | 93% -99. 5% (ULPA -suodatusjärjestelmä voidaan räätälöidä, epäpuhtaussisältö pienempi tai yhtä suuri kuin 1ppb) |
| Lähtöpaine | 0. 5-1. 5MPA (Säädettävä, mukautettu puolijohdelaitteiden ilmanottostandardiin) |
| Virtausalue | 10-5000 nm³/h (tukee useiden yksiköiden rinnakkaista laajennusta) |
| Kastepiste | Vähemmän tai yhtä suuri kuin -70 aste (veden höyryn estämiseksi prosessiympäristöstä) |
| Energiatehokkuus | Vähemmän tai yhtä suuri kuin 0. 38kWh/nm³ (korkean tehokkuuden muuttujan taajuuskäyttö, energiansäästö yli 30%) |
| Melutaso | Alle tai yhtä suuri kuin 65 dB (matala värähtely rakenne + äänieristetty kuori, luokan 1000 puhtaan huoneen standardien mukaisesti) |
PSA -happigeneraattorin ydinetut

Erittäin korkea puhtaustakuu
Kaksikerroksisen molekyyliseulakerroksen ja katalyyttisen hapettumisyksikön käytetään epäpuhtauksien, kuten hiilivetyjen ja CO₂: n, syvästi, ja hapen puhtaus saavuttaa yli 99,5%, joka täyttää puoliksi F20-standardin. Sisäänrakennettu reaaliaikainen online-analysaattori, datan synkronointi tehtaan SCADA-järjestelmään prosessin vakauden varmistamiseksi.
Älykäs hallinta ja tarpeeton muotoilu
Integroitu PLC+HMI -ohjausjärjestelmä, tukee etävalvontaa, vian itse diagnoosia ja hätäkytkentä (kaksoistornit redundantti adsorptio). Automaattinen painekompensaatiotekniikka puolijohdelaitteiden välittömän suuren virtauksen tarpeen selviytymiseksi.
Vähähiilinen energiansäästöliuos
VPSA (tyhjiöpaineen heilahtelu adsorptio) Synergistinen tekniikka vähentää energiankulutusta, säästäen 15% -20% energiaa verrattuna perinteiseen PSA: hon.
Puhdas huoneen yhteensopivuus
Kaikki ruostumattomasta teräksestä valmistetut virtauskanava + nanopäällyste metalli -ionin saastumisen välttämiseksi; nolla vuotamisen tiivissuunnittelu, läpäissyt ISO 8573-1 luokka 0 sertifiointi.
PSA -happea kasvityypit

Modulaariset laitteet

Kaksoistornivarusteet

Säilytyslaitteet
| NTK95 -sarja PSA -happigeneraattorin valinta | ||||||
| Ei. | Malli | Kapasiteetti (NM3/HR) |
Puhtaus | Virrankulutus 1 nm3 happi tuotettu (kW/h) |
Pullojen lukumäärä lensi 12 tunnissa (tietokoneet) |
Operaattori tarvitaan |
| 1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
Faq
1. Kuinka korkea voi hapen puhtaus olla ja vastaako se puolijohteiden valmistuksen vaatimuksia?
PSA -happigeneraattorimme puolijohteille voi rutiininomaisesti tuottaa happea, puhtaus 95%± 3%. Joillekin prosesseille, jotka vaativat erittäin korkeaa hapen puhtautta, säätämällä laiteparametreja, hapen ulostulon puhtautta voidaan hallita joustavasti 95% - 99.
2. Kuinka vakaa laite on ja voiko se varmistaa puolijohteiden tuotantolinjan jatkuvan toiminnan?
Laitteet omaksuvat kaksinkertaisen adsorptiotornin vuorottelevan työtilan yhdistettynä PLC -älykkään ohjausjärjestelmään 24- tunnin keskeytyksettä ja vakaa happea. Tämä automatisoitu toimintatila välttää manuaalisen pullonvaihdon aiheuttamat kaasun syöttökatkaisut, tarjoaa luotettavan ja vakaan kaasun tarjonnan prosesseille, kuten ohutkalvojen laskeutuminen ja etsaus, jotka ovat herkkiä ilmanpaineeseen, ja vähentää tehokkaasti kaasun syöttöongelmien aiheuttamien tuotantovaaran riskiä.
3. Mikä on käyttökustannukset verrattuna perinteisiin hapen tarjontamenetelmiin?
Verrattuna nestemäisiin happea varastosäiliöihin tai korkeapaineisiin kaasusylintereihin, PSA-happigeneraattorimme käyttää paikan päällä hapentuotantotilaa, joka säästää suuresti hapenkuljetus- ja varastointikustannuksia. Laitteilla on pieni alue, ja niitä voidaan laajentaa modulaarisesti, mikä vähentää paikanvuokrauskustannuksia. Pitkällä aikavälillä kustannukset ovat noin 20% alhaisemmat kuin perinteinen hapen tarjontamenetelmä, joka säästää merkittävästi käyttökustannuksia.
4. Onko laitteiden ylläpito monimutkainen? Kuinka kauan huoltosykli on?
Laitteita on helppo ylläpitää, käyttämällä ruoka-luokan ruostumattomasta teräksestä ja itsepuhdistuvista molekyyliseuloista, jotka vähentävät huomattavasti huoltotasoa. Normaaliolosuhteissa huoltosykli on niin kauan kuin 3-5 vuotta, ja meillä on ammattimainen myynnin jälkeinen ryhmä, joka tarjoaa teknistä tukea milloin tahansa auttaaksesi ratkaisemaan ongelmia laitteiden käytön aikana.
Toimi nyt hapen toimitusketjun turvaamiseksi
✅ Mukautetut ratkaisut:
Kerro meille sängyn kapasiteettisi ja räätälöidyn ehdotuksen huippukysyntä.
✅ Nopea toimitus:
Ennalta suunniteltuja moduuleja, jotka on lähetetty 8-12 viikkoina.
✅ Rahoitusvaihtoehdot:
Vuokra-omat suunnitelmat saatavilla.
Puhelinnumero
+86 15888864725
Whatsapp -numero
+86 15888864725
Sähköposti
sales@newtek-group.com

Suositut Tagit: PSA -happigeneraattori puolijohde, Kiinan PSA -happigeneraattori puolijohdoille, toimittajille, tehtaalle
Lähetä kysely
Ota yhteyttä
Kirjoita Viestisi














